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真空室是真空設(shè)備的主要部件之一。真空設(shè)備的生產(chǎn)工藝過程都是在真空室中進(jìn)行的。真 空室中裝有不同的部件，可以完成各種不同的工藝要求。如真空室中有蒸發(fā)金屬的部件,就可 蒸鍍金屬薄膜;真空室中有感應(yīng)加熱部件，就可以作為真空冶煉用的真空感應(yīng)電爐等等。各種 真空設(shè)備的真空室盡管完成的工藝過程不同,但大多數(shù)真空室都是由筒體、封頭、門、冷卻水 套、法蘭、管道等組成的。
由于使用要求不同,真空室有圓筒形、圓錐形、盒形等。
對于焊接結(jié)構(gòu)的真空室有下列要求：
①為了減少漏孔和漏氣量，焊縫的總長度應(yīng)盡可能短 。
②不要有十字交叉的焊縫,焊縫的髙度應(yīng)大于殼體厚度的1/3;兩縫中心的距離應(yīng) 大于100mm。
③全部焊縫都能方便地進(jìn)行真空檢潘。
④殼體上需開孔時最好不要開在焊縫上。
⑤為了防止殼體變形，對于非氣密性焊縫可用間斷焊。
封頭是真空室的一個零件，與筒體焊在一起而組成一個整體。真空室封頭有凸形、球形、錐 形、平蓋形等。
為便于工藝搡作,真空室上都裝設(shè)有門。門是可動部件，有平盞形、凸形、球形等。
有的真空室上設(shè)有冷卻水套或敷有水管,這是因?yàn)檎婵帐矣袝r處于離溫狀態(tài)下工作,如真 空冶煉設(shè)備,為了防止殼體變形和保證密封性，就需要設(shè)有冷卻水套冷卻真空室。
真空室一般用金屬軋制板材制成,對材料的要求是可焊性好，氣密性好。對于真空度要求 不髙的真空室,所用材料通常為低碳鋼、合金鋼、鋁材和銅材等。對于要求真空度較高而又耐腐 蝕的真空室,一般采用不銹鋼。
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